Boro11 tricloruro semiconductor dopant semiconductor gravado en seco
Introdución do produto
A temperatura e presión normais, o tricloruro de boro (BCL 3 ) é o gas de fume incoloro, que é un olor picable, picante e ácido. O tricloruro de boro descompón en ácido clorhídrico e ácido bórico e libera moito encontro de calor con auga, xera fume no aire húmido por mor da hidrólise, e Bcl 3 descompón en ácido clorhídrico e éster de ácido bórdico en alcol. O tricloruro de boro ten unha forte capacidade de reacción e pode formar unha variedade de compostos de coordinación. O tricloruro de boro pode reaccionar co vidro e a cerámica cando se quenta, e tamén reacciona con moitos compostos orgánicos para formar unha variedade de compostos de organoboron. O tricloruro de boro de alta pureza11 úsase principalmente para a dopaxe de difusión no proceso de fabricación de dispositivos semiconductores (silicio). As impurezas de boro xéranse mediante a descomposición de Bcl 3 e difusa cara ao silicio para formar semiconductor tipo P a alta temperatura. Bcl 3 tamén se pode usar para o gravado en seco de Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI e outros materiais.
Especificación de calidade
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Aplicación
O tricloruro de boro pódese usar para fabricar boro puro alto, catalizador para a síntese orgánica, axente fluído para a descomposición de silicato, e tamén se usou como aditivo de desoxidizador, nitridos e carburos no refino de alia. O tricloruro de boro alto puro11 úsase principalmente na dopaxe de difusión, implantación de ións, gravado en seco e outros procesos en dispositivos semiconductores e fabricación de circuítos integrados.
Envasado e almacenamento
O tricloruro de boro11 énchese no cilindro. O cilindro cheo de tricloruro de boro11 axústase ás disposicións pertinentes de GB14193. As especificacións de envasado inclúen 10L e 47L. O produto está almacenado nun almacén sombrío, seco e ventilado por baixo dos 60 ℃ . Está prohibido expoñer ao sol e afastar das fontes de calor. O paquete debe selarse e debe almacenarse por separado con alcalinos e outros artigos perigosos.
Contact Now
