Cas de hexafluoruro de xofre: 2551-62-4 SF6 99.999% 5n Gas Especial de alta pureza de alta pureza
Uso do produto
O hexafluoruro de xofre é un gas inerte incoloro, inodoro, non tóxico, non inflamable cun peso molecular de 146,07, un punto de fusión de -51 ° C e un punto de ebulición de -64 ° C. A estrutura molecular do hexafluoruro de xofre está disposta nun octaedro, a distancia de unión é pequena e a enerxía de unión é alta, polo que a súa estabilidade é alta. O hexafluoruro de xofre de alta pureza de grao electrónico é un gravador ideal. O hexafluoruro de xofre pódese usar para gravar a superficie do silicio e eliminar as membranas orgánicas ou inorgánicas en materiais de semiconductor e pódese usar na fabricación de fibras ópticas.
Especificación de calidade
|
Items
|
Units
|
Index
|
|
（SF6）Sulfur
hexafluoride
|
Vol./%
|
≥99.999%
|
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
≤1
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Methane（CH4）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Moisture（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
Acidity（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.1
|
|
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.8
|
|
Total impurity content≤
|
μg
|
≤10
|
|
Particle
|
μg
|
Supply and demand agreement
|
Aplicación
O hexafluoruro de xofre de alto xofre de alto nivel de grao é un axente de gravado electrónico ideal, que é moi utilizado no campo da tecnoloxía de microelectrónica, úsase como axente de grabación e limpeza de plasma na fabricación de grandes circuítos integrados como chips informáticos e LCD. O hexafluoruro de xofre úsase como fonte de flúor para producir vidro dopado por flúor na preparación de fibra óptica. Ademais, o hexafluoruro de xofre tamén se pode usar como illante de gas, axente de rastreadores e refrixerante.
Envases 、 Almacenamento
O hexafluoruro de xofre almacénase en cilindros transparentes estándar, normalmente o volume de cilindro é 40L, o tipo de cilindro é CGA590 QF-2 e a presión do cilindro é de 8,0MPA e 12,5MPA. As especificacións específicas de envasado pódense personalizar segundo os requisitos do usuario. O hexafluoruro de xofre está almacenado nun almacén sombrío e ventilado lonxe do lume e da fonte de calor, a temperatura do almacén non supera os 30 ℃. Debe almacenar por separado con axente inflamable (combustible) e oxidante. A área de almacenamento estará equipada con equipos de emerxencia para emerxencia.
Contact Now
